Плазмохимическое и жидкостное травление в постростовой технологии каскадных солнечных элементов на основе гетероструктуры GaInP/GaInAs/Ge
نویسندگان
چکیده
Investigation and development of a separating mesa-structure creating technology for fabricating multi-junction solar cells based on the GaInP/GaInAs/Ge heterostructure has been carried out. Studied were methods etching layers: liquid chemical in etchants HBr, H2O2, K2Cr2O7 plasma-chemical stream operating gas BCl3. The comparative analysis was studied. protective masks photoresist layer TiOx/SiO2 developed. Multi-junction with low parameters leakage current less than 10-7 A at voltage 0,5-1 V created.
منابع مشابه
The evolution of the parametric models of drawings (modules) in the enterprises reconstruction CAD system
Обсуждается развитие методов автоматизации подготовки чертежей на основе так называемых модулей, содержащих одновременно параметрическое представление части чертежа и соответствующие геометрические элементы. Как этапы эволюции модульной технологии автоматизации проектирования рассматриваются варианты применения модулей для простого объединения элементов без параметрического представления с возм...
متن کاملТехнология создания комплексированных индексов публикационной активности (The Technology of Aggregated Science Citation Indexes Formation)
В статье дан анализ требований к формированию показателей, на основе которых производится оценка результативности научных организаций в соответствии с Приказом Министерства образования и науки No 406 от 14 октября 2009 г. Для автоматизации процесса получения данных о публикационной активности сотрудников научно-исследовательского института, как одного из критериев научного вклада организации, р...
متن کاملThe modular technology of development of the CAD expansions: protection of the buildings from the lightning
V.V. Migunov, R.R. Kafiyatullov, I.T. Safin. The modular technology of development of the CAD expansions: protection of the buildings from the lightning // Izvestiya of the Tula State University/ Ser. Mathematics. Mechanics. Informatics. Tula: TSU, 2003. V._. N _. P. __–__. The modular technology of development of the problem-oriented CAD expansions is applied to a task of designing of protecti...
متن کاملУдк 004
Предлагаются методологические основы проектирования инструментального комплекса онтологического назначения, предназначенного для реализации интегрированной информационной технологии автоматизированного построения онтологий предметных областей. Полученные результаты ориентированы на повышение эффективности анализа и понимания естественноязыковых текстов, построения баз знаний предметных областей...
متن کاملИнструменты Oracle для создания частных облаков (Oracle Tools for Private Clouds)
Термин “облачные вычисления” (cloud computing) сегодня уже достаточно хорошо известен и в IT и в бизнес кругах. Почти каждую неделю появляются новые статьи, книги, презентации об облачных вычислениях – новой сервисной модели предоставления вычислительных услуг. Широкой востребованностью облака обязаны возможности существенно оптимизировать ИТ-процессы компаний, тем самым ускоряя и повышая эффек...
متن کاملذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Pis?ma v Žurnal tehni?eskoj fiziki
سال: 2021
ISSN: ['1726-7471', '0320-0116']
DOI: https://doi.org/10.21883/pjtf.2021.03.50568.18446